1、壓力傳感器校準范圍

本檢定規程適用于測量范圍為（一0.1?500）MPa（表壓、差壓或絕壓）的壓力傳感器（靜態(tài)）的shouci檢定、后續檢定和使用中檢查。

2、引用文件

本規程引用下列文件:

JJF 1008—2008壓力計量名詞術(shù)語(yǔ)及定義

GB/T 15478—1995壓力傳感器性能試驗方法

GB/T 18459—2001傳感器主要靜態(tài)性能指標計算方法

GB/T 18806—2002電阻應變式壓力傳感器總規范

GB/T 20522—2006半導體器件第14-3部分：半導體傳感器一壓力傳感器

凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規程；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本規程。

3、術(shù)語(yǔ)和計量單位

3.1術(shù)語(yǔ)

3. 1. 1 靜態(tài)壓力 static pressure

在所研究的領(lǐng)域內，不隨時(shí)間變化或隨時(shí)間變化而緩慢變化的壓力。[JJF1008一

2008 定義 1. 8]

3. 1. 2 壓力傳感器 pressure transducer

能感受壓力信號，并能按照一定的規律將壓力信號轉換成可用的輸出電信號的器件

或裝置。[JJF 1008—2008 定義 5.1]

3.1.3 零點(diǎn)漂移 zero drift

在規定的條件下和時(shí)間間隔內，零點(diǎn)輸出值的變化量。

3.1.4 靈敏度 sensitivity

傳感器輸出變化量與相應的輸入變化量之比。[GB/T 18459—2001定義2. 3. 2]

3.1.5 符合度 conformity

正、反行程實(shí)際平均特性曲線(xiàn)相對于參比曲線(xiàn)的最大偏差，用滿(mǎn)量程輸出的百分比來(lái)表示。[GB/T 18459—2001 定義 2. 3. 6]

3.2計量單位

壓力傳感器使用的法定計量單位為Pa（帕斯卡），或是它的十進(jìn)倍數單位：kPa、 MPa等。壓力傳感器的輸出主要有電壓（V、mV）、電流（mA）或頻率（Hz）等。

4、壓力傳感器校準概述

壓力傳感器通常由壓力敏感元件和信號處理單元組成。按不同的測試壓力類(lèi)型，壓力傳感器可分為表壓傳感器、差壓傳感器和絕壓傳感器。壓力傳感器的結構原理如圖1 所示。

圖1壓力傳感器原理框圖

5、計量性能要求

5.1準確度等級及基本誤差限

壓力傳感器的準確度等級及基本誤差限應符合表1規定。

表1準確度等級及基本誤差限

5.2重復性壓力傳感器的重復性不得大于基本誤差限的絕對值。

5.3遲滯

壓力傳感器的遲滯不得大于基本誤差限的絕對值。

5.4線(xiàn)性

壓力傳感器的線(xiàn)性的絕對值不得大于基本誤差限的絕對值。非線(xiàn)性壓力傳感器對此不作要求。

5.5零點(diǎn)漂移

壓力傳感器的零點(diǎn)漂移不得大于基本誤差限絕對值的1/2。絕壓傳感器對此不作 要求。

5.6周期穩定性

本次檢定的靈敏度與上一周期的靈敏度差值的絕對值，與本次檢定的靈敏度的比值為靈敏度周期穩定性，通常以百分數表示，該值不得大于基本誤差限絕對值。

5.7靜壓影響

靜壓影響只適用于差壓傳感器，靜壓零位變化不得大于基本誤差限絕對值。

5.8曲線(xiàn)符合度

曲線(xiàn)符合度只適用于非定點(diǎn)使用的非線(xiàn)性傳感器，曲線(xiàn)符合度不得大于基本誤差限絕對值。

通用技術(shù)要求

6.1外觀(guān)

6. 1.1壓力傳感器的銘牌應完整、清晰，應具有出廠(chǎng)編學(xué)、型號規格、測量范圍等信息；產(chǎn)品名稱(chēng)、準確度等級、制造廠(chǎng)的名稱(chēng)或商標、額定工作電壓（或電流）、輸出信 號、最大過(guò)載壓力、制造計量器具許可標志及編號等信息可以根據情況在銘牌上增加，或在附帶的技術(shù)文件中進(jìn)行完整說(shuō)明；差壓傳感器的高壓（+或H）和低壓（一或L） 接嘴應有明確的yongjiu性標志。

6.1.2壓力傳感器的配套零部件應完好無(wú)損，外觀(guān)不應有影響計量性能的銹蝕或損傷。各部件應裝配牢固，不應有松動(dòng)、脫焊或接觸不良等現象。

6.1.3壓力傳感器的電源輸入端和信號輸出端應有明確的區別標志，在附帶的技術(shù)文件中應對各端子連線(xiàn)進(jìn)行完整說(shuō)明。

6.1.4使用中的壓力傳感器應有上一周期的檢定證書(shū)，新制造的壓力傳感器應有出廠(chǎng)合格證書(shū)。

6.2密封性

壓力值下降（或上升）不得超過(guò)試驗壓力的1%。

6.3絕緣電阻

傳感器各組端子（包括外殼）之間的絕緣電阻應不小于10 MQ。

7、計量器具控制

計量器具控制包括shouci檢定、后續檢定和使用中檢查。

7.1檢定條件

7. 1-1檢定設備

檢定時(shí)所需的計量標準器具及配套設備可按被檢壓力傳感器的規格，參照表2進(jìn)行選擇并組合成套。對0.1級以下的被檢壓力傳感器，整套檢定設備檢定時(shí)引入的擴展不確定度U應不超過(guò)被檢壓力傳感器基本誤差限絕對值的1/4；對0. 1級和0. 05級被檢 壓力傳感器，由此引入的擴展不確定度U應不超過(guò)被檢壓力傳感器基本誤差限絕對值 的1/3；對0.05級以上的被檢壓力傳感器，由此引入的擴展不確定度U應不超過(guò)被檢壓力傳感器基本誤差限絕對值的1/2 O

表2計量標準器具及配套設備

7. 1.2環(huán)境條件

  a）檢定時(shí)的環(huán)境溫度視被檢壓力傳感器的準確度等級而定，應符合表3要求。

表3檢定環(huán)境溫度要求

b） 相對濕度：小于80%；

c） 所處環(huán)境應沒(méi)有影響壓力傳感器穩定輸出的機械振動(dòng)和外磁場(chǎng)（地磁場(chǎng)除外）。

7.2檢定項目

壓力傳感器shouci檢定、后續檢定和使用中檢查的檢定項目見(jiàn)表4。

表4檢定項目

7. 3檢定方法

7.3.1外觀(guān)檢查

用目力觀(guān)測，應符合6.1的要求。

7.3.2檢定前準備

7.3.2.1設備的連接與安裝

檢定前，壓力傳感器應在檢定環(huán)境條件下放置2h以上，方可進(jìn)行檢定。

將壓力傳感器按要求與壓力標準裝置連接，對釆用液體為傳壓介質(zhì)的壓力標準器, 安裝時(shí)應排除管路中的空氣。壓力傳感器、激勵電源、讀數記錄裝置等儀器設備按規定連接方式連接，使其處于正常工作位置和狀態(tài)。安裝壓力傳感器時(shí)，應盡量使壓力傳感器的感壓面與壓力標準器的參考平面在同一水平面上，對于由高度差引起的誤差，可參照附錄A進(jìn)行修正。

7.3.2.2通電預熱

檢定系統正確安裝、連接后，至少需通電預熱30 min0

7.3.2.3檢定前預壓

對檢定系統加壓至預壓壓力，穩定Imin后，緩慢通大氣，連續進(jìn)行3次。

預壓壓力：正表壓傳感器為其測量范圍上限；負表壓傳感器為測量范圍下限或當地大氣壓的90%以上疏空度；差壓傳感器為額定工作壓力；絕壓傳感器及正負壓復合量程傳感器為測量范圍上限和下限（或當地大氣壓力90%以上疏空度）兩個(gè)壓力點(diǎn)。

7.3.3 密封性檢查

將壓力傳感器和壓力測量?jì)x表安裝在壓力標準器上，平穩地升壓（或疏空），使壓力傳感器測量室壓力達到密封性檢查壓力，關(guān)閉壓力源，待壓力穩定后，耐壓15 min,在最后5 min內通過(guò)壓力測量?jì)x表觀(guān)察，其壓力值下降（或上升）不得超過(guò)試驗壓力的1%。

密封性檢查壓力：正表壓傳感器為其測量范圍上限；負表壓傳感器為測量范圍下限 或當地大氣壓的90%以上疏空度；差壓傳感器為額定工作壓力；絕壓及正負壓復合量 程傳感器取測量范圍上限和下限（或當地大氣壓力90%以上疏空度）偏離當前大氣壓較大者。

差壓傳感器在進(jìn)行密封性檢查時(shí)，高低壓力容室連通，并同時(shí)引入額定工作壓力進(jìn) 行觀(guān)察。

7.3.4絕緣電阻檢定

在環(huán)境溫度為15 °C?35 °C,相對濕度為45%?75%時(shí)，在被檢傳感器不施加激勵 電源的條件下，用輸出電壓為直流100 V的絕緣電阻表，將電源端子和輸出端子分別短接，用絕緣電阻表分別測量電源端子與接地端子（外殼）、電源端子與輸出端子、輸出 端子與接地端子（外殼）之間的絕緣電阻。測量時(shí)，應穩定10 s后讀數。

7. 3.5零點(diǎn)漂移檢定

在規定的環(huán)境條件下，傳感器通電預熱及預壓后，記錄零點(diǎn)初始輸出值貝，然后每隔15 min記錄一次零點(diǎn)輸出值乂（/ = 1, 2, 3,…），從開(kāi)始記錄起連續進(jìn)行的時(shí)間不得少于lh,零點(diǎn)漂移億按公式（1）計算，其值應符合5.5的要求。